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Non-Contact Resistance Measurements System (Wafer Type)
| 측정 범위(Ω/cm^2) | 0.0015 ~ 6,500 (option : ~25,000) |
|---|---|
| 측정위치 반복도(Repeatability) | < 0.5% |
| 선형성 오차범위(Linearity) | < 0.5% |
| 측정가능 두께(μm) | 100 ~ 1,900 |
제품상세정보
ㅁ 제품 특징
- Foup 적용 시 Full Auto Type 구현 가능 (SECS/GEM Interface 적용으로 표준화 통신 환경 제공)
- Semi Auto 및 Foup 적용 Auto System 구현 가능
ㅁ Application
- 반도체, 디스플레이, 태양전지등 대부분 박막의 면저항 측정에 적용 가능
- 측정 박막의 물성 상태(ex. soft)와 상관없이 측정 가능